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    洁净室气流和净化系统原理

    2019-09-10 10:20:35

    洁净实验室是一个全密闭的环境,通过空调送、回风系统的初、中、高效过滤器,使室内环境空气不断循环过滤,以保证空气悬浮粒子受控到一定浓度。洁净实验室*主要的作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中检测、科研。所以洁净实验室通常也叫超净实验室,洁净实验室,净化实验室等。

    洁净实验室气流和净化系统介绍

    1、实验室净化系统描述:

    气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→ 回风百叶窗→初效净化….(重复以上过程)

    2、洁净实验室的气流形式:

    (1)单向流洁净区(水平、垂直流向);

    (2)非单向流洁净区;

    (3)混合流洁净区;

    (4)环形/隔离装置。

     

    混合流洁净区是ISO国际标准提出的,即把实际早已存在的非单向流洁净室设置了局部的单向流的洁净工作台/层流罩对关键部位进行“点”或“线”的保护,以减少单向流洁净区的面积。

     

    洁净实验室净化工程项目的主要控管项目

    1、除去空气中漂游之微尘粒子;

    2、防止微尘粒子之产生;

    3、控制温度和湿度;

    4、调节气体压力;

    5、排除有害气体;

    6、确保结构物与隔间气密性;

    7、防止静电;

    8、预防电磁干扰;

    9、安全因素;

    10、考虑节能

     

    洁净实验室三种常用净化空调系统

    1、 直流式净化空调系统

    (1)直流式系统就是不用回风循环系统,也就是直送直排系统,其能耗很大。

    (2)这种系统一般适用于有致敏性的生产工艺(如青霉素分装工艺)、实验动物房、生物安全洁净室以及可能形成交叉污染生产工艺的实验室。

    (3)采用这种系统时应充分考虑余热的回收。

    2、 全循环式净化空调系统

    (1)全循环式系统即无新风供给,也无排风的系统。

    (2)这种系统无新风负荷,很节能,但室内空气品质差,压差不好控制。

    (3)一般适用于无人操作、值守的洁净室。

    3、 部分循环式净化空调系统

    (1)这是用得*多的系统形式,也就是有部分回风参与循环的系统。

    (2)在该系统中,新风和回风混合经处理送到无尘洁净室内,回风的一部分用于系统循环,另一部分被排走。

    (3)该系统压差易于控制,室内品质较好,能耗介于直流式系统与全循环式系统之间。

    (4)适用于允许采用回风的生产工艺。

    洁净室


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